Адсорбционный насос

Адсорбционный насос это сорбционный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа сорбентом при низкой температуре.

В качестве сорбента применяется главным образом цеолит. С помощью адсорбционного насоса получают предельное остаточное давление до 10-2 Па.